透射电镜定期维护指南

透射电镜的日常维护

温度 —— 20 ±5 5 摄氏度（变动小于1 1 摄氏度）；

湿度 —— 小于 60%

换样品须知：每天注意样品杆两个 O 形圈的清洁度，以及样品杆头部的清洁度。拧固定螺丝时，请选择合适大小螺丝刀且不要拧的太紧，以免损坏螺丝。

此换样台起到保护双顷样品头的作用

1).  把换样台放在如下图所示的位置 上：

2).  把样品杆小心地放在换样台上

由于小螺丝只能支撑一定的力，故如果用力压，此螺丝肯定会断且样品头脱落

3). 更换样品拧螺丝时, , 用螺丝杆的自重压住螺丝， 请不要用力往下压 ，然后小心拧螺丝。拧螺丝的姿势可参见下图。

4).  拧螺丝时请不要拧的过紧，以免因为拧过紧而不由自主地用力以致使支撑Y Y 轴的螺丝断。

5).  样品杆进入测角台后，在菜单中选择样品杆的正确类型。

6).  从测角台中拔出样品杆时，一定要把所有轴归零后再拔样品杆。

注意： 若出现下图，则表示样品杆与电镜内部已接触，此时很有可能已经造成损害，请立即与工程师联系！

日常维护总结

1).  每天检查事项：离子泵真空度、空压机的启动频率以及运行噪音、主机机械泵的运行噪音、底片干燥器运行噪音、循环水环境的温度、样品杆两个O O- - RING ， 以及样品头部清洁度、高压暗电流

2).  每月检查事项

循环水的温度、压力、水量以及水和散热器清洁度、主机机械泵油量( ( 太多或太少均不可 )、底版干燥器机械泵油量( ( 太多或太少均不可 )、空压机放水（两处）、高压箱和电子枪 SF、气体的压力、灯丝像

3).  定期进行BAKE OUT

每月检查一次水位，半年到一年

彻底更换一次水

境特 别 脏的 以及分 体式的每月清洗一次。

空压机放水 —— 将灯丝与高压关掉后进行。

（一）、空压机放水

1 、有水的危害

2 、放水周期的确定

根据不同地域以及季节调整放水周期，最好每月检查一次。

空压机放水 —— 两处放水

过滤网除尘

注意观察机械泵油量，及油的颜色。－－－ 油量应在油量检查口玻璃窗中间有个白点的附近，油的颜色应为透明或黄色

观察机械泵是否漏油，通过观察如下的漏油观察口。如果漏油，需要更换 油封。

观察机械泵噪音（主要是皮带运行的时间长，表面污损产生摩擦声音），可将皮带吸尘清洁，或者更换皮带。（在后面常见问题的处理中有更换皮带的说明）

 决不允许在加高压状态下充气 

（一）、高压箱充气

所以要每月检查一次压力值，以便及时补充。高压箱中的绝缘气体压力下限为 0.005 Mpa ，一般充气到 0.01 Mpa,  但不要超过 0.015 Mpa. .

充气前先将气管中的气体放一放，并且对着高压箱的充气口先吹一下气，此目的是将气管中的不纯气体放出，并清洁充气口。

本文来源：JEM- - 2100培训资料，仅供参考。